Ấn phẩm:
Size-dependent behavior of a mems microbeam under electrostatic actuation
Đang tải...
Xem mô tả
7
Xem & Tải
0
Nhan đề khác
Tóm tắt
The size-dependent behavior of a silicon microbeam with an axial force in MEMS is studied using a nonlinear fiite element procedure. Based on a refied thirdorder shear deformation theory and the modifid couple stress theory (MCST), nonlinear differential equations of motion for the beam are derived from Hamilton’s principle, and they are transferred to a discretized form using a two-node beam element. NewtonRaphson based iterative procedure is used in conjunction with Newmark method to obtain the pull-in voltages and deflctions of a clamped-clamped microbeam under electrostatic actuation. The inflence of the axial force, applied voltage and material length scale parameter on the behavior of the beam is studied in detail and highlighted.
Mô tả
Vietnam Journal of Mechanics, Vol. 44, No. 1
Tác giả
Le, Cong Ich
Tran, Quang Dung
Lam, Van Dung
Nguyen, Dinh Kien
Người hướng dẫn
Nơi xuất bản
Nhà xuất bản
Viện Cơ học, Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam
Năm xuất bản
2022-03
ISSN tạp chí
Nhan đề tập
Từ khóa chủ đề
Microbeam , Modifid couple stress theory , Electrostatic actuation , Refied thirdorder shear deformation theory , Nonlinear fiite element analysis