Ấn phẩm:
Mô phỏng các quá trình tương tác của chùm Ion tới bia và tính hiệu suất phún xạ bằng phương pháp động học Monte Carlo
Đang tải...
Xem mô tả
59
Xem & Tải
21
Nhan đề khác
Tác giả
Võ, Thị Ngọc Thủy
Người hướng dẫn
Lê, Vũ Tuấn Hùng
Nơi xuất bản
Nhà xuất bản
Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM
Năm xuất bản
2011
ISSN tạp chí
Nhan đề tập
Từ khóa chủ đề
Vật lý hạt nhân , Phún xạ Magnetron